特殊涂层
涂层
涂层是通过对设备，配件表面特殊涂层处理，延长配件寿命、稳定工艺、感少Particle、提高收率、提高生产效率的必需工程。
主要涂层有APS、SPS、ARC、阳极氧化涂层等，迪艾福可以提供符合顾客公司要求事项的涂层解决方案
主要涂层技术
| 区分 | APS 涂层 | SPS 涂层 | ARC 涂层 | Anodizing 涂层 |
|---|---|---|---|---|
| 使用目的 | 给零部件赋予Plasma电阻特性， 控制particle发生及稳定工艺 | 给零部件赋予Plasma电阻特性， 控制particle发生及稳定工艺 | 提高母材与"ARC涂层面"之间的粘附力， 通过改善污染物沉积，提高particle控制效果 | 半导体零部件的绝缘及形成外观保护 |
| 涂层区分 | Y2O3, YAG, YF3-Ⅰ/Ⅱ 外 | Y2O3, YAG, YF3-Ⅰ/Ⅱ 外 | Al Wire 溶射 | 硫酸法,混酸法,草酸法 |
| 主要特点 | 耐Plasma电阻特性优秀 | 耐Plasma电阻特性优秀 减少Powder Size改善涂层 密度的方法 | 提高污染物沉积(Depo) particle控制效果 |
绝缘性,耐蚀性优秀 |
涂层物质属性
| 区分 | APS-Ⅰ | APS-Ⅱ | SPS | ||
|---|---|---|---|---|---|
| Y2O3 | YAG | Y2O3 | YAG | Y2O3 | |
| Powder Size |  |
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| 表面放大 (x 1,000) |  |
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| Roughness (Ra _ ㎛) | 4.0 ~ 4.5 | 4.0 ~ 4.5 | 3.0 ~ 3.5 | 3.0 ~ 3.5 | 2.0 ~ 2.5 |
| Cross Section |  |
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| Porosity (%) | 3 ~ 4 | 3 ~ 4 | 2 ~ 3 | 2 ~ 3 | 0.3 ~ 0.5 |
| Hardness (Hv) | 400 ~ 500 | 600 ~ 700 | 400 ~ 500 | 600 ~ 700 | 700 ~ 800 |
| Adhesion (Mpa) | 3 ~ 5 | 9 ~ 11 | 4 ~ 6 | 9 ~ 11 | 4 ~ 6 |
特殊涂层 Road Map
特殊涂层 Road Map_技术事项
| 区分 | 32㎚ | 16㎚ | 14㎚ | 5㎚ |
|---|---|---|---|---|
| Porosity (%) | 4 ~ 5 | 3 ~ 4 | 0.5% | 0% |
| Hardness (Hv) | 300 | 400 | 500 | 1,000 |
| Powder Size (㎛) | 30 ~ 35 | 25 ~ 30 | 2 | - |
| Image | |
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Pellet / Target |
| 种类 | APSⅠ-Y2O3 APSⅠ-YAG | APS YF3 Ⅰ APS YF3 Ⅱ APSⅡ-Y2O3 APSⅡ-YAG | SPS Y2O3 | PVD Y2O3 |
| 世代 | Conventional | Generation | Generation | Generation |