Defect Free Technology

사업장 소개

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  • 해외
㈜디에프텍은 반도체 공정 장비 및 부품의 코팅, 세정 전문 업체로서
국토 중심부이며 서울을 비롯해 수도권 주요 지역,
지방 어디든 2시간 대로 이동 가능한 청주 산업단지 내에 위치해 있습니다.

당사는 APS, SPS, PVD 공정 기술을 확보하고 이트륨(Yttrium)을 기반으로 하는 다양한 세라믹 박막 코팅과 특수 세정, 가공 서비스를 고객의 요구에 맞게 진행하고 있습니다.
주요 대응 제품은 반도체 전공정(Front_END) 분야에서는 ETCH, CVD, Diffusion, Photo 공정에 사용되는 장비의 부품들이며, 후공정(Back_END) 분야로의 확장을 추진 중에 있습니다.

당사의 고객사인 반도체 제조 업체들은 치열한 경쟁 환경 속에서 효율적인 공정 개발 및 장비 운용을 통한 생산 안정화를 추구하고 있습니다.
이러한 요구를 충족시키기 위해서는 부품의 마찰을 최소화하고 내 마모성을 높이기 위한 고성능 세라믹 코팅 기술과 불량 제로에 필요한 세정 기술이 요구되고 있습니다.
당사는 고객의 요구 사항을 파악하고 신기술 및 고부가가치 기술을 개발하고자 연구 개발 및 생산 시설 그리고 유능한 인재 확보를 위해 투자를 지속하여 기업 경쟁력을 향상시키고자 노력하고 있습니다.

최근 HBM 반도체 수율 향상을 위해 고객사와 협업하여 HBM Carrier Wafer 세정기술을 확보하였으며, Clean Room Particle Spec 최적화를 통한 품질 향상을 통해 보다 많은 고객의 신뢰를 얻고 있습니다.
㈜디에프텍은 앞으로도 공정개선을 위한 지속적인 투자를 통해 반도체 산업에서의 입지를 공고히 다지고 환경적, 사회적, 윤리적 책임을 다하도록 하겠습니다.

국내Korea

  • 주소충청북도 청주시 흥덕구 대신로 146번길 150
  • 전화(043)272-1421~3
  • 팩스(043)272-1426
  • 설립일2003년 3월
  • 대표자현일선
  • 인원172명
  • 주요 사업 내역반도체 부품 정밀 세정 → Etch, CVD, Diffision, Photo, PKG 등 반도체 설비 부품 전체
    반도체 부품 코팅→ APS (Y2O3, YAG, YF3 등), SPS (Y2O3), PVD (Y2O3) 외

Contact Point

No 이름 / 직급 부서 담당 업무 연락처 E-Mail 비고
1 전윤호 / 부장 영업부 기술영업 010-8775-7965 yunho.jeon@dftech.co.kr
2 양성식 / 부장 영업부 기술영업 010-7799-5986 sungsik.yang@dftech.co.kr
3 도요한 / 부장 영업부 기술영업 010-8937-4245 yohan.do@dftech.co.kr

(주)디에프텍은 글로벌 네트워크를 구축하여
지속적으로 성장하고 있습니다.

DF Tech Suzhou
디에프텍 중국법인은 2006년(18년)에 설립되어 반도체 생산 장비 부품의 정밀 세정, 코팅, 제작, 분석 및 기술 서비스를 제공하고 있습니다.

공장의 위치는 중국 강소성 소주시 상성구 웨이탕이며 1, 2, 3공장으로 구성되어 있습니다.
공장은 세정 제품 별로, 일반 Parts의 세정과 정밀 부품의 Coating을 진행하는 1공장, Quartz 세정 전용 공장인 2공장, 고객 Cu 공정 부문의 Parts 세정을 담당하는 3공장으로 구성되어 있습니다.

반도체 디자인의 미세화 따라서 Dry Etch, CVD, PVD 등 진공 Plasma 장비 부품의 코팅 기술이 고도화 되어가고 있습니다.
디에프텍의 Coating 기술은 Arc Spray, APS(Atmospheric Plasma Spray), SPS(Suspension Plasma Spray), PVD(Physical Vapor Deposition), ALD (Atomic Layer Deposition) Coating 영역으로 나뉘며,
반도체 제조 장비 중 Plasma 진공 Chamber를 구성하는 부품의 내구성과 내식성 향상을 위해 상기 Coating 기술을 통하여 Al2O3, Y2O3, YAG, YAM, YF3, YOF 등의 세라믹 물질 코팅을 진행하고 있습니다.
당사의 APS Coating 기술은 3세대 기술까지 개발이 완료되어 고객 제품에 적용 되고 있으며 차세대 Coating 기술인 PVD Coating 제품도 고객 부품에 적용되어 서비스 제공이 진행중에 있습니다.

이러한 기술 개발에 병행한 품질 서비스를 강화하기 위해 품질 보증 업무를 지속적으로 개선하고 있으며, 접촉, 비접촉식 3D 측정기, SEM, IC-PMS 등 첨단 측정 장비 도입 등 품질 서비스에 대한 고객의 Needs 만족을 위해 끓임 없이 노력하고 있습니다.

ESG 경영 및 환경 보호를 위해 중국 환경 안전국 기준에 부합하는 폐수처리 시설 및 Scrubber 3기, 집진기 3기를 가동 운용 중에 있으며, 중국 환경 안전국 환경 영향 평가를 모두 통과하였습니다.

MES(생산정보시스템) 의 지속적인 Up-grade 실시, 고객 생산 정보 시스템 및 품질 시스템과 연계하여 고객 Parts의 이력 관리 및 품질 Data, Capa. TAT 등의 정보를 실시간 확인할 수 있습니다.,

Metal, Non-metal, Cu 등 각 Area 별 전용 세정 Room을 구분함으로써 교차 오염 발생을 근본적으로 차단하고 있습니다.

한국 본사의 연구소와 생산, 품질 보증 부서와의 지속적인 협업 및 소통을 통하여 본사와 동등한 수준의 시스템을 구축하고 있으며 이를 위해 품질 향상 협의체를 운용 중입니다.

디에프텍은 현재에 머무르지 않으며 끊임없는 연구 개발과 투자를 통하여 보다 우수한 품질의 서비스를 제공하도록 하겠습니다.

중국 법인(SZ)China

  • 주소No2, Chuangxin Industrial District, Xinyan Rd. Weitang Town, Xiangcheng District, Suzhou, China
  • 전화+86-512-6599-1421/1422
  • 팩스+86-512-6599-1477
  • 설립일2006년 4월
  • 대표자현일선
  • 인원110명
  • 주요 제품반도체 및 디스플레이 부품 정밀 세정 및 Coating

Contact Point

No 이름 / 직급 부서 담당 업무 연락처 E-Mail 비고
1 최종승 / 이사 영업부 중국법인 159-9536-3335 jongseung.choi@dftech.co.kr
2 이재형 / 차장 영업부 중국법인 136-5624-8747 jaehyoung.lee@dftech.co.kr