Defect Free Technology

특수코팅

코팅

코팅은 장비 또는 부품 표면에 특수 코팅 처리를 통해 부품의 수명 연정, 공정의 안정, Particle 감소, 수율 향상, 생산성 향상을 할 수 있는 필수적인 공정 입니다.
주요 코팅으로는 APS, SPS, PVD, ARC, Anodizing Coating 등이 있으며, 디에프텍은 고객사의 Needs에 맞는 코팅 솔루션을 제공 하고 있습니다.

주요 코팅기술

주요 코팅기술표
구분 APS Coating SPS Coating PVD Coating ARC Coating Anodizing Coating
사용 목적 부품의 플라즈마 저항 특성 강화를 통한 파티클 발생 제어 및 공정 안정 부품의 플라즈마 저항 특성 부여를 통한 파티클 발생 제어 및 공정 안정 부품의 플라즈마 저항 특성 강화를 통한 파티클 발생 제어 및 공정 안정 모재와 ARC 코팅 면간 접착력을 향상시켜 오염물 증착 향상으로 파티클 제어 효과 향상 반도체 부품의 절연 및 외관 보호 형성
코팅 구분 Y2O3, YAG, YOF, YF3 (각 Gen1,2,3 ) Y2O3 Y2O3, YAG, YOF Al Wire 용사 황산법, 혼산법, 수산법
주요 특징 내플라즈마 저항 특성 우수 내플라즈마 저항 특성 우수 Powder Size를 감소시켜 코팅 밀도를 개선한 방법 코팅 막질의 밀도 경도 특성이 향상 되어 내플라즈마 특성 및 파티클 제어 측면에서 가장 우수 Re-sputtering 증착 향상 (Depo) 파티클 제어 효과 절연성, 내식성 우수

코팅 물성

주요 세정기술표
구분 APS Y₂O₃ APS YAG SPS PVD Y₂O₃
DAY-I™ DAY-II™ (New) DAY-III™ (New) DAG-I™ DAG-II™ DAG-III™ DSY-I™ DPY-I™ DPF-I™
Powder(x500)
Surface (x1,000)
Roughness (Ra _ ㎛) 5.0±0.5 3.5±0.5 2.5±0.5 5.0±0.5 3.8±0.5 3.3±0.5 2.0 0.03 0.03
Cross Section (X300)
Porosity 3 ∽ 5 % 2 ∽ 3 % 1 ∽ 2 % 3 ∽ 5 % 3 ∽ 4 % 2 ∽ 3 % 0.3 ∽ 0.5% 0% 0%
Hardness (Hv) 430±50 450±50 480±50 600±50 650±50 700±50 650±50 13 GPa 10 GPa
Adhesion (Mpa) 4.0±0.5 4.5±0.5 4.5±0.5 10.0±0.5 10.0±0.5 11.0±0.5 10.0±1.0 20↑ 20↑

특수코팅 Road Map

코팅 공정 비교

코팅 공정 비교
구분 Atmosphere Plasma Spray Suspension Plasma Spray Physical Vapor Deposition
코팅방식
- 약 12,000℃ 상압 Plasma로 Powder melting.
- Powder size (15um - 35um)
- Melting된 Powder 음속도로 모재 충돌 코팅.
- 약20,000℃ 상압Plasma로 melting.
- Powder size ( < 2.5um )
- Powder는 slurry 형태로 코팅방식 APS와 동일
- Pellet type의 Source를 전자 beam으로 melting.
- Melting된 source가 증발 하여 모재에 Coating.
- RF ion beam을 적용 Film density를 높임.
장점 - Thick thickness 가능 ( >200um)
- 모재 형상의 제약이 적음
- Coating cost low
- Thick thickness 가능 ( >200um)
- 모재 형상의 제약이 적음
- 표면 조도 낮음 ( 약 2um )
- Pore 낮음 ( <1% )
- High Density
- Crack & Pore Free
- Good Adhesion
단점 - 표면 조도가 높음
- Un-melting Point 존재.
- Micro Crack & Pore
- High Power 적용으로 인한 모재
- Cooling 소요로 long Process time.
- Coating cost high.
- Thin Thickness (< 10um)
- Coating cost very high.
- 평면 type 모재 제한.
적용 Y2O3 / YAG / YOF/ YF3 Y2O3 / YOF Y2O3 / YAG / YOF