(주)디에프텍

Defect Free Technology

품질정책

품질관리
품질 보증 시스템
인증 및 특허현황

측정 및 Monitoring

㈜디에프텍은 고객의 요구에 만족하는 품질 보증으로 다양한 측정기기 및 분석기기를 보유하여 운영하고 있습니다.
측정, 분석 전문가들이 최고의 품질을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.

정밀 측정 장비

Contactless 3D
Contact 3D
Laser Micro Scope.
Endoscopic Cam.
High Definition Microscope

정밀 분석 장비

ICP_MS (Agilent / 7900)
ICS (Themo / ICS-6000)
SEM&EDS (Bruker)
XRF (Bruker)

생산/품질 관리 시스템

MES (Manufacturing Execution System)를 통한 생산, 품질, 영업 등 입고 ~ 출고까지의 모든 생산 이력, 흐름, 생산 정보, 품질 Data, 고객 정보 등을 통합관리 하고 있습니다.

mes시스템 운영

제품정보 제품 마스터 등록 업체별 구분 관리 제품 이미지 관리 Serial No 이력 관리 공정 유형별 관리
공정관리 제품별 라우트 적용 재공 실시간 모니터링 LOT 추적 관리 입고 검수 관리 런시트 관리 환경정보 관리
품질관리 측정데이터 관리 실시간 고객 업무 협업품질이력 관리 파라미터 Trend 관리 성적서 생성 불량제품 관리
출하관리 제품 라벨 생성 제품 성적서 출력 제품 출하 이력 관리 Customer CoA 연동

SP2 비패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

당사 보유 KLA Tencor Surfscan SP2 장비는 반도체 웨이퍼의 표면 결함을 검사하는 장비입니다.

광학 기능은 모든 결함을 정확하게 감지하는 밝은 필드와 어두운 필드 이미징이 모두 포함하여 측정합니다.
전기 기능은 접촉 및 비 접촉 방법을 사용하여 저항, 커패시턴스 및 전류와 같은 전기 특성을 측정합니다.
기계적 기능을 통해 웨이퍼를 검사하는 동안 정확한 이동 및 조정에 대한 방향을 변경할 수 있습니다.

특징

포커스 변형, 이미지 처리 등의 통합 기술이 포함되어 있어 웨이퍼를 검사하고 잠재적 결함을 확인하고 검출함 초점 변화 같은 경우 웨이퍼의 3차원 뷰를 제공하여 시스템이 서브 마이크론 결함을 정확하게 감지함 추가 분석을 위해 고해상도 CCD 카메라를 사용하여 웨이퍼 이미지를 캡처 (이미징 서브시스템) 각 검사 데이터 분석 후 쉽게 읽을 수 있는 형식으로 결과를 표시하는 소프트웨어 활용

이러한 점을 통해 품질 보증, 생산성을 향상시키는데 중요한 역할을 하고 있습니다.

당사에선 이러한 웨이퍼를 재 활용, 재 사용 할 수 있는 솔루션을 고객에게 제공함으로써 고객 Needs에 부합하고자 한 걸음 더 노력하고 있습니다.